อุปกรณ์ทำความสะอาดห้องคลีนรูมมีความหลากหลายและหลากหลายตามการใช้งาน มีทิชชู่เปียก ฟองน้ำ ไม้ถูพื้น และผ้าขนหนู รวมกันเป็นกลุ่มก็จะเป็นยาฆ่าเชื้อ เช็ดแอลกอฮอล์ Cleanroom และอะซิโตน อุปกรณ์ทำความสะอาดห้องสะอาดแบบสถิตประกอบด้วย เสื่อไม่มีรสนิยมที่ดี ลูกกลิ้งไม่มีรสนิยมที่ดี และน้ำยาทำความสะอาดรองเท้า Cleanroom มีประเภทของเสบียงที่อยู่ภายใต้ร่มอุปกรณ์ ตัวอย่างเช่น เครื่องนึ่งฆ่าเชื้ออัตโนมัติ เครื่องนึ่งฆ่าเชื้อ
เครื่องอบไอน้ำ และเครื่องดูดฝุ่น Cleanroom การใช้งานแบบคลาสสิกสำหรับอุปกรณ์ทำความสะอาดเหล่านี้คือการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ บริษัทเซมิคอนดักเตอร์แทบทุกแห่งดำเนินการกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ ความจำเป็นในการทำความสะอาดอุปกรณ์ขึ้น Cleanroom อยู่กับสภาพแวดล้อมเฉพาะนั้นจำเป็นต้องใช้อุปกรณ์ทำความสะอาดห้องสะอาดเนื่องจากมีการใช้งานห้องสะอาดอย่างแพร่หลาย
การจำแนกประเภทห้องปลอดเชื้อช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ดังนั้นจึงจำเป็นต้องเข้าใจและชื่นชมเทคโนโลยี อย่างน้อยก็มีภาพรวม Willis Whitfield ได้รับการรับรองด้วยการประดิษฐ์ห้องสะอาดที่ทันสมัยในปี 1960 ในฐานะพนักงานของ Cleanroom เขาได้ออกแบบสถานที่โดยพิจารณาจากการไหลของอากาศกรองอย่างต่อเนื่อง Cleanroom การไหลอย่างต่อเนื่องจะผลักอนุภาคในอากาศออกจากโรงงานและนำอากาศผ่านตัวกรองพิเศษ ตัวกรองเหล่านี้เรียกว่าตัวกรองฝุ่นละอองประสิทธิภาพสูงหรือตัวกรอง HEPA เทคโนโลยีนี้ได้กลายเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลกอย่างรวดเร็วและยังคงเป็นเช่นนั้นมาจนถึงทุกวันนี้
เห็นได้ชัดว่าเทคโนโลยีนี้ได้รับการปรับปรุงให้ดีขึ้นตลอดหลายปีที่ผ่านมา Cleanroom ขั้นตอนพื้นฐานประการหนึ่งในการพัฒนาคือการจำแนกประเภทการจำแนกประเภทห้องปลอดเชื้อช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถสร้างสิ่งอำนวยความสะดวกที่เหมาะสมกับความต้องการที่มีอยู่ Cleanroom การจำแนกประเภทแสดงด้วยจำนวนอนุภาคขนาดหนึ่งในพื้นที่ลูกบาศก์เมตรในห้อง ตัวอย่างเช่น อากาศในห้องธรรมดามีอนุภาค 1,000,000,000 อนุภาคที่มีขนาด 0.1 ไมครอนหรือใหญ่กว่าต่อลูกบาศก์เมตร ในขณะที่การจำแนกประเภท ISO 1 มีเพียง 10 อนุภาคที่มีขนาด 0.1 ไมครอน
ในการผลิตอุปกรณ์ทำความสะอาดห้องสะอาดครอบคลุมตั้งแต่สารอินทรีย์
ดูตารางด้านล่างสำหรับการจัดประเภท ISO อุปกรณ์ทำความสะอาดห้องคลีนรูมได้รับการคัดเลือกโดยพิจารณาจากความสามารถในการดำเนินการตามประเภท ISO ที่กำหนด ด้วยเหตุนี้ Cleanroom คุณลักษณะที่สำคัญที่สุดของอุปกรณ์ทำความสะอาดห้องคลีนรูมคือคุณสมบัติของไม่สร้างอนุภาค cleanroom class สร้างอนุภาคที่เหมาะสมสำหรับการจำแนกประเภทในมือ ลักษณะเฉพาะนี้นำไปสู่การเลือกวัสดุพื้นฐานที่ใช้ในการผลิตผลิตภัณฑ์ทำความสะอาดวัสดุที่ใช้
ในการผลิตอุปกรณ์ทำความสะอาดห้องสะอาดครอบคลุมตั้งแต่สารอินทรีย์ไปจนถึงสารสังเคราะห์ หากเราพิจารณากลุ่มผลิตภัณฑ์ทำความสะอาดโดยเฉพาะ เช่น ผ้าเช็ดทำความสะอาดและฟองน้ำ เราจะพบรายการวัสดุที่มุ่งเน้นอย่างดี ถัดมาเป็นผลิตภัณฑ์ผสมไนลอน โพลีเอสเตอร์ และโพลีเอสเตอร์ Cleanroom เหมาะสำหรับการใช้งานระดับกลาง สำหรับข้อกำหนดด้านอุปกรณ์ทำความสะอาดห้องคลีนรูมที่เข้มงวดที่สุด โดยทั่วไปแล้วควรใช้ผลิตภัณฑ์ที่มีไมโครไฟเบอร์และพลาสติกขึ้นรูป
